`
`11915113131151»)
`
`(1011‘ 55 51% E‘F ((3? if (A)
`
`flnfifififififi§%
`
`#0552004—327718
`92004-32771“)
`51131611151131858004.11.18)
`
`3 (5:51? E1
`
`(51) 1111.01.7
`H01L 21/00
`HOSK 1118
`
`F 1
`
`21,100
`11011.
`HQSK 1118
`
`3111;
`L
`
`i—va— : 13%)
`512336
`51:044
`
`121) 111111§%
`(22) 111111131
`
`fififi2003~120408 (02003—120408)
`1152155102413 (2003. 4. 24)
`
`E’fifi'fiifi $11031? $331391? 2 01.
`
`(a 10 E“)
`
`(71) 1110111
`
`(71.) 111131211
`
`(11) 1111111.
`
`1'71) 11111011
`
`(71) fifik
`
`
`
`592212836
`2:11:
`1101211
`Efififimfiflficfifi‘s ~ 8 ~ 3
`000190688
`fij’fi‘flfilfififii‘iéfifi
`Efififififfi/bgfiiméS 0&0
`000000205
`N§fi1¥%fi%?i
`fififlifiEfi/Ffi 21 TE7§1 22%
`000001889
`Efifiifififiifi‘fii
`kmfigflfifimlfififl T E 5% S 1%
`000005049
`91*7115‘Cfi1i
`fiflfifififififimfififlfimm 2 2 $2 2 %
`fi1§§1zfi<
`
`(54) 1010110010) Siaé‘fifizfififi‘fli
`
`<51)(’10)
`
`{ifiLJEJ TEMW'T‘ {‘1 7 51455317015“/}7‘““/vg€0Jq-T1ffimugéwh‘viJ HWOJA// OJ if?
`
`1111OJ11151’5132‘OH 771E103}. 5,3150) C IV'P‘XE’”11091611111114: .1fi1132 1:11.01.W£11.
`
`
`751311 J XVI”); L151 r1. 111131311731111firit11: O “ML—1‘ 15‘“?- >5§3M27§L 9311fo T};1. to
`
`[35317 TE!) 1135111X:H17x0)’h7b \éféz: JEJUJ*K{J1’113M7§ kirk/1:191“ 310113111511
`
`
`
`.1.11 9&1 n/(TT’75TJ’TIO’TZLLLI1?? 7‘131511115. fiTwOJTE'fié M (iii/@111:
`11111 '5 1&1?
`.L'E:
`1511?: if
`3233001211 £1111
`1 3 0
`1111131170 111.“‘1117211110 03110151413)
`
`3131713 N V737518 g1 1110)';€§’3 2/3449104)21k
`110109112 12/71: ETfinfl1:1TTé75H*'01‘1:§5 '
`
`
`1t§3é€d§ 3.550%IT‘fTI ()OgL‘JT 53132:) 111/07”:
`[33111111311
`72:1.
`
`10
`
`